广东天域半导体获得具有上料检测功用的碳化硅外延成长进料设备专利避免错混料产生

  金融界 2025 年 1 月 22 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，广东天域半导体股份有限公司获得一项名为“一种具有上料检测功用的碳化硅外延成长进料设备”的专利，授权公告号 CN 222313385 U，请求日期为 2024 年 5 月。

  专利摘要显现，本实用新型公开了一种具有上料检测功用的碳化硅外延成长进料设备，包含上料检测腔室、中心真空转移腔室和 MOCVD 反响腔室，上料检测腔室内设有晶片上料托盘、晶片转移机械手、光学扫描仪、晶片托盘和托盘转移机械手，光学扫描仪坐落晶片托盘的正上方，晶片转移机械手从晶片上料托盘取晶片、并将晶片翻转 180 度后放置在晶片托盘上，光学扫描仪对晶片托盘上的晶片 ID 进行扫描收集信息、并将收集的信息传送到 PC 端作信息比照。本实用新型能够对上料的晶片进行监控辨认，经过光学扫描仪扫描产品上的 ID 信息，并传送信息至 PC 端，PC 端经过与贮存的产品 ID 作比照，判别是否为同批次产品，避免错混料的产生，削减相关本钱，进步出产功率和提高产品良率。

  天眼查资料显现，广东天域半导体股份有限公司，成立于2009年，坐落东莞市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册本钱36319.8011万人民币，实缴本钱36319.8011万人民币。经过天眼查大数据分析，广东天域半导体股份有限公司共对外出资了2家企业，参加招投标项目118次，知识产权方面有商标信息8条，专利信息109条，此外企业还具有行政许可65个。

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